仪器设备

原子力显微镜
作者:beat365官方网站
时间: 2021-03-01    阅读:

 原子力显微镜

仪器型号:俄罗斯NT-MDT公司Ntegra Prima

主要用途:对各种薄膜样品进行纳米区域的形貌观测。

技术指标:

大量程扫描器的扫描范围不小于90×90×9 μm,三维全量程闭环控制扫描器,XY非线性度≤0.1%,Z方向噪声水平0.03nmXY方向噪声水平0.02nm;小量程扫描器的扫描范围不小于9×9×3.6 μm,可实现原子分辨。

最大样品尺寸:直径:40mm,厚度:15mm,最大样品质量:100g

 

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